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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
一款四軸精密大理石運動平臺，XY軸采用十字疊層三片式結構，可選配R軸用于角度調整，配備高性能直線電機，滿足高精密定位需求；Z軸配備精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好；底座選用高品質大理石，保證運行平面度達到000級，另可選配光柵尺編碼反饋，精度更加有保障。用于半導體檢測晶圓的調整，光學檢測，視覺定位等應用場景
XY軸重復定位精度：±2μm
XY軸定位精度：5μm
有效行程：300mm
最高速度：500mm/s
直線度：6μm/500mm
最大負載：5kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。
微米級重復定位精度；
XY軸采用高性能直線電機平臺組成；
Z軸標配高精度研磨絲杠，可選配直線電機；
密封防護效果好，無易損件，可有效阻隔粉塵；
底座選用濟南青等高品質石材，平面度有保障；
直線電機驅動，光柵尺編碼反饋，應用范圍廣。
| 規格 軸向 | X軸 | Y軸 | Z軸 |
| 重復定位精度 | ±2μm | ±2μm | ±3μm |
| 定位精度 | 5μm | 5μm | 8μm |
| 有效行程 | 300mm | 300mm | 100mm |
| 最高速度 | 500mm/s | 500mm/s | 200mm/s |
| 直線度 | 6μm / 500mm | ||
| 平面度 | 000級 | 000級 | - |
| 最大加速度 | 0.5G | ||
| 最大負載 | 5kg | ||
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm | ||
注意：以上參數僅做為選型參數使用，最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。
