運動平臺特點
高精度的直驅結構;
中型寬度尺寸高剛度設計;
精密滾柱直線導軌;
多種行程可選;
光柵尺閉環反饋;
可配置龍門Z軸及旋轉R軸。
運動平臺參數
| 規格 軸向 | X軸 / Y軸 |
| 重復定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 800mm |
| 最高速度 | 500mm/s |
| 直線度 | 6μm / 500mm |
| 平面度 | 000級 |
| 最大加速度 | 2G |
| 最大負載 | 30kg |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm |
注意:以上參數僅做為選型參數使用,最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。