半導體精密運動平臺

• 半導體精密運動平臺XY軸采用直線電機驅動，滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋組成，R軸直驅電機驅動可實現360°旋轉，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導體精密制造及檢測。底軸寬度約是上軸長度的2/3，可防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌，具有精度高、剛性好等特點。

• 產品參數

  重復定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直線度：6μm / 500mm
  最大負載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。