半導體精密運動(dòng)平臺

• 半導體精密運動(dòng)平臺XY軸采用直線(xiàn)電機驅動(dòng)，滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅電機驅動(dòng)可實(shí)現360°旋轉，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導體精密制造及檢測。

• 產(chǎn)品參數

  Tips：絲桿直線(xiàn)模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。