應用領(lǐng)域：

一款直驅三軸精密運動(dòng)臺，帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。

結構特點(diǎn)：

XY軸十字疊層三片式結構，底軸寬度約是上軸長(cháng)度的2/3，移動(dòng)到極限位置時(shí)，防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉臺結構扁平薄，三軸疊層后降低工作點(diǎn)的高度，可360度旋轉，用于角度調整，是晶圓切割加工應用的理想選擇。

精度性能：

采用光柵閉環(huán)反饋，考慮材料的熱膨脹影響，加工工藝和裝配工藝等，使XY軸重復定位精度≤±0.4μm，全行程直線(xiàn)度±1μm和平面度±1.25μm，R軸微動(dòng)步距1arc sec。

防塵管理：

精密運動(dòng)臺的防塵設計，有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進(jìn)入直線(xiàn)臺，影響使用壽命，同時(shí)不受防塵罩擾動(dòng)力的影響。

定制化：

根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等；可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。