公告：
喜報！雷子科技通過“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定！
∷ 
Wafer & Precision Instrument Motion Stage
18138537102
唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
一款XY平面式氣浮平臺，雙驅(qū)橫梁均采用空氣導(dǎo)軌的 H 橋式結(jié)構(gòu)。采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能。可以根據(jù)客戶需求配置、行程、負(fù)載、特殊結(jié)構(gòu)等進(jìn)行評估定制。用于不同尺寸和工藝的晶圓檢測及其他高精密檢測應(yīng)用場景。
有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.3μm
雙向重復(fù)定位精度：±0.1μm
最高速度：1000mm/s
直線度：2μm / 300mm
平面度：000級
最大水平負(fù)載：50kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
氣浮導(dǎo)軌，超高性能精度；
平面式氣浮，減小系統(tǒng)誤差影響；
300mm行程直線度≤2μm；
龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強；
可選光柵或激光尺位置反饋。
| 規(guī)格 \ 型號 | LEIZ-QF-XY-300 |
| 有效行程 | 300mm x 300mm |
| 定位精度 | 0.3μm |
| 雙向重復(fù)定位精度 | ±0.1μm |
| 最高速度 | 1000mm/s |
| 直線度 | 2μm / 300mm |
| 平面度 | 000級 |
| 電子分辨率 | 1nm |
| 最大加速度 | 20m/s2 |
| 最大水平負(fù)載 | 50kg |
| 俯仰/翻滾/偏擺 | 3 arc sec |
| 正交度 | 10 arc sec |
注意：
1. 以上測試數(shù)據(jù)在恒溫恒濕實驗室環(huán)境下，測試點位于中心點上方 25mm處，由線性放大器得出。
2. 以上定位精度在實驗環(huán)境下激光干涉儀補償后測得。
