
視覺(jué)測(cè)試平臺(tái),由固定的相機(jī)和直線(xiàn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)組成,直線(xiàn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)使用大理石框架和高精密直線(xiàn)電機(jī)組成,位置反饋采用光柵閉環(huán)反饋系統(tǒng),還可采用防塵設(shè)計(jì),擁有高剛性,大負(fù)載,高精度等優(yōu)越的性能,多種行程可選擇。配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。
重復(fù)定位精度:±2μm
定位精度:5μm
有效行程:100 - 800mm
最高速度:500mm/s
直線(xiàn)度:6μm / 500mm
最大負(fù)載:30kg
Tips:絲桿直線(xiàn)模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。
視覺(jué)測(cè)試平臺(tái)通常包括兩部分,通過(guò)直線(xiàn)電機(jī)平臺(tái)改變相機(jī)與被測(cè)產(chǎn)品的相對(duì)位置,來(lái)檢測(cè)同一產(chǎn)品不同的位置。相機(jī)通常固定在平臺(tái)上方且固定不動(dòng),而十字平臺(tái)采用大理石平臺(tái),將超高精度導(dǎo)軌安裝在大理石上,驅(qū)動(dòng)單元采用直線(xiàn)電機(jī),推力密度大,體積小,能使整個(gè)平臺(tái)高速度,高精度的運(yùn)行,位置反饋采用光柵閉環(huán)反饋系統(tǒng),確保整個(gè)系統(tǒng)安全穩(wěn)定的運(yùn)行。
高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu);
中型寬度尺寸高剛度設(shè)計(jì);
精密滾柱直線(xiàn)導(dǎo)軌;
多種行程可選;
光柵尺閉環(huán)反饋;
可配置龍門(mén)Z軸及旋轉(zhuǎn)R軸。
| 規(guī)格 / 軸向 | X軸 / Y軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 800mm |
| 最高速度 | 500mm/s |
| 直線(xiàn)度 | 6μm / 500mm |
| 平面度 | 000級(jí) |
| 最大加速度 | 2G |
| 最大負(fù)載 | 30kg |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm |
注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。
本文關(guān)鍵詞: 直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
公眾平臺(tái)
電話(huà)咨詢(xún)