
視覺測試平臺通常包括兩部分,通過直線電機平臺改變相機與被測產品的相對位置,來檢測同一產品不同的位置。相機通常固定在平臺上方且固定不動,而十字平臺采用大理石平臺,將超高精度導軌安裝在大理石上,驅動單元采用直線電機,推力密度大,體積小,能使整個平臺高速度,高精度的運行,位置反饋采用光柵閉環反饋系統,確保整個系統安全穩定的運行。
高精度的直驅結構;
中型寬度尺寸高剛度設計;
精密滾柱直線導軌;
多種行程可選;
光柵尺閉環反饋;
可配置龍門Z軸及旋轉R軸。
| 規格 / 軸向 | X軸 / Y軸 |
| 重復定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 800mm |
| 最高速度 | 500mm/s |
| 直線度 | 6μm / 500mm |
| 平面度 | 000級 |
| 最大加速度 | 2G |
| 最大負載 | 30kg |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm |
注意:以上參數僅做為選型參數使用,最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。
本文關鍵詞: 直線運動平臺