xy軸精密大理石直線(xiàn)電機定位平臺,采用無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。
重復定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm
非標定制產(chǎn)品,配置價(jià)格請咨詢(xún)!
*絕對定位精度需通過(guò)軟件修正。
Tips:絲桿直線(xiàn)模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。
XYZ三軸高精密大理石直線(xiàn)電機平臺,采用無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測。
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(客戶(hù)定制)
重復定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
應用行業(yè):晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等;
*絕對定位精度需通過(guò)軟件修正。
*Z軸采用直線(xiàn)電機配恒力彈性裝置,保證Z軸斷電保護。
本文關(guān)鍵詞: 精密運動(dòng)平臺 三軸運動(dòng)平臺 直線(xiàn)電機
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